株式会社アクセル有機EL・精密部品洗浄・精密部品加工
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FLOWCHART

洗浄フローチャート

有機EL スパッタ関連
ORGANIC EL

有機EL装置用部品の剥離洗浄

  1. 1

    受入検査

    付着膜質や数量、仕様書の内容を確認する。

  2. 2

    付着膜剥離

    2-1有機膜剥離

    独自の方法を用い付着している膜を取り除く。

    2-1-1剥離剤を使用して付着膜を溶かす。
    2-1-2独自のメディアを用いて付着膜を剥がし落とす。(母材への影響を最小限に抑えます)
    2-2仕上げブラスト

    ブラストにて表面粗さを調整する。

  3. 3

    純水洗浄〜梱包(クリーンルーム作業:クラス1000)

    3-1超純水洗浄

    超純水洗浄による超音波洗浄を行う。

    3-2真空加熱乾燥

    真空内で加熱し脱ガスを行う。

    3-3梱包

    製品毎にクリーンルーム内にて梱包を行う。

  4. 4

    出荷・納品

当社ではこの他にも、お客様のご意見・ご要望を取り入れお客さまにとって最適な洗浄工程、条件をご提示していきますのでご相談ください。

SPUTTERING / DEPOSITION

スパッタ装置/蒸着装置用部品の剥離洗浄

  1. 1

    受入検査

    付着膜質や数量、仕様書の内容を確認する。

  2. 2

    防着板付着膜剥離

    2-1付着膜剥離

    独自の方法を用い付着している膜を取り除く。

    2-1-1 化学的処理薬液(酸、アルカリ)を使用して付着膜を溶かす。
    2-1-2 物理的処理(エアブラスト)ブラスト装置にて付着膜を剥がし落とす。
    2-2仕上げブラスト(エアブラスト)

    ブラストにて表面粗さを調整する。

  3. 3

    防着板仕上げ洗浄〜梱包(クリーンルーム作業:クラス1000)

    3-1超純水洗浄

    超純水洗浄による超音波洗浄を行う。

    3-2真空加熱乾燥

    真空内で加熱し脱ガスを行う。

    3-3梱包

    製品毎にクリーンルーム内にて梱包を行う。

  4. 4

    出荷・納品

当社ではこの他にも、お客様のご意見・ご要望を取り入れお客さまにとって最適な洗浄工程、条件をご提示していきますのでご相談ください。

洗浄工程・条件のご相談

TEL 0238-29-1001 FAX 0238-29-1002

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